国产精品1-国产精品1000部在线观看-国产精品1024香蕉在线观看-国产精品1024永久免费视频-国产精品1024在线永久免费

特點＆優點 

u  設備可實現6、8英寸晶圓兼容

u  設備能實現晶圓正反面的自動翻轉與清洗；

u  設備可選擇配置有濕進干出或者干進干出;

u  每個腔室采用獨立空間，避免交叉污染；

u  腔室流場控制技術，保證廢氣及時排出；

u  專利刷頭設計，有效避免晶圓劃痕的產生；

u  刷頭潤濕及自清潔技術，避免引入顆粒；

u  設備集成4套、6套刷洗腔體，產能最高可達80片/小時；

u  SiC片表面顆粒去除能力可達到particle（@0.3um）≤5ea;

u  多級軟硬件安全互鎖，操作安全

u  軟件及硬件模塊化設計

u  實時記錄生產數據，多種數據分析功能

u  工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速

u  設備占地面積小

u  支持擴展SMIF自動傳輸

u  軟件支持SECS GEM接口，支持EAP  MES等功能（選配）

u  多路視頻監控和錄像功能（選配）

u  靜電消除功能（選配）

u  優化配管設置，節約DIW消耗量

u  多工藝數據庫，可供用戶使用和存儲

u  自主知識產權的軟件系統

u  擁有多項軟件著作權

u  PC上位機和PLC觸摸屏的控制和人機交互界面

u  系統自動排程，多工位并發處理，高效率運行

u  工藝預置，過程數據記錄和生產管理