槽式濕法制程設備
產品詳情
1. 工作流程
生產主線為：腐蝕槽1、沖水槽2、輕刻槽3、沖水槽4、上下料臺，共4個清洗工位。右進右出設備。本設備電氣控制部分關鍵件均采用進口優質件，性能可靠，使用壽命長；及背部設有吸風口，為防止污染空氣，用戶需外接風管抽風。本機臺是一個人機界面（觸摸屏）加PLC控制的全自動控制系統，操作者只須將清洗花籃放置于上下料工位上，再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位，按照事先輸入的程序對晶片進行各工藝處理。
2. 清潔能力
6 inch 8inch 2 cassette / Batch 25 Pcs/cassette；
3. 產品優勢
1) 高效清洗：?能夠快速徹底地去除超薄片材料表面的污漬和微小顆粒，?保證清洗質量。?
2) 無死角清洗：?能夠實現360度無死角清洗，?確保清洗效果均勻一致。?
3) 適用于大批量生產：?操作簡單，?性能穩定，?適合大批量連續生產，?提高生產效率。?
4) 節能環保：?采用壓縮機制冷，?高達93%的回收率，?有效降低使用成本，?同時提高產品的綜合市場競爭力。?
5) 智能化設計：?具備產能等智能化計數功能，?采用機械手操作、?PLC控制，?減輕員工勞動強度，?減少人力資源，?提高競爭優勢。?
6) 高效組合清洗：?采用超聲波清洗+噴淋清洗的高效率清洗組合，?可有效去除微米單位的粒子，?確保清洗效果。
4. 產品特點
1) 工藝說明: 自動傳動，自動方式實現槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業，生產部人員選取菜單進行作業，這個過程全自動進行；
2) 全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預，保證產品性能的一致性；
3) 搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達，閉環控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導軌結構及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩；
4) 搬運機械手臂單獨急停、暫停開關、系統急停開關和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；
5) 溢流工藝的應用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
6) 工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速；多工藝數據庫，可供用戶使用和存儲；
7) 整機在使用、運行過程中平穩、可靠、不產塵、無溢出油污等；
8) 整機采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護及超(兆)聲低液位保護；
9) 整機采用全封閉設計。設備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便；
10) 整機耐酸堿溶液及揮發氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
11) 機臺設有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設備兩端各一個），并按照標準設置接地保護斷路器；
12) 整機前后區隔離，底板傾斜設計，便于排液，處設有漏液報警，前后區域均設水槍，確保漏液及時沖洗；
13) 清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設計，防止溶劑混用；
14) 設計合理化的排風管路，使酸堿液揮發氣體的污染最小化；
15) 設備內部輸水、輸氣管道管線布置于主體設備內部；
16) 工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現，至少需要三面溢流；
17) 軟件具有防呆功能；
18) 搬運機械手臂設有防夾防撞預警裝置（光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等），以保護操作人員安全；
19) 設備后方、左右兩側需留有方便維護、維修的窗口；
20) 機臺上下料區配水***2把；
21) 機臺排風口處安裝排風壓力監測裝置（帶信號報警裝置）；
22) 機臺總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監測裝置（帶信號報警裝置）；
23) 工藝槽槽底傾斜式，便于排空；
24) Cassette transfer time < 5sec；
25) 機臺電器部分具備正壓N2保護，防止腐蝕；
26) 具有作業記錄功能，可以 USB 接口 U 盤調取，配置攝像頭，并配置硬盤用于視頻保存，視頻保留時間不少于 30 天；
27) 兩個藥業槽工藝時間到后有聲光提示；
28) 機臺地腳做防腐處理：1.噴防腐漆，2.增加PP防護盒；
29) 供液系統人工換桶時防止廢液回流，加裝收集桶；
30) 機臺具備漏液監測功能，如發生漏液報警時自動關閉排液功能；
31) Cassette搬運使用工裝方式；
5. 安裝及售后
1) 委派具有豐富的調試經驗、業務精湛的技術人員在用戶工廠現場安裝、調試設備。
2) 為用戶工廠操作工提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養、操作問題的分析和緊急處理程序。
3) 無償提供為期一年的技術支持與服務，一年后繼續提供終身技術服務。在質保期內，提供7*24小時內電話支持服務，24小時到現場反應時間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務后24小時內到達現場。
4) 可提供隨機備件、易損品及隨機工具。
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