槽式濕法制程設備
產品詳情
1. 工作原理
全自動GAN去光阻清洗機的工作原理主要利用激光吸附、?瞬時膨脹和易離化，?以及沖擊清理的過程進行表面清洗。??其工作原理通常包含以下三個主要過程：?
1) 激光吸附：?將激光束照射到工件表面時，?激光能量被工件表面的有機和無機雜質吸收。?這些雜質吸收的激光能量將其加熱至瞬態高溫狀態，?部分燃燒成為氣態，?形成氣體等離子體區域，?從而利用這一現象將工件表面的雜質清除。?
2) 瞬時膨脹和易離化：?當表面雜質被加熱時，?它們以非常快的速度從表面膨脹開來。?這個過程稱為瞬時膨脹和易離化。?在加熱和膨脹后，?雜質在空氣中形成一個氣囊環，?達到其容量的兩倍以上，?同時變得容易剝離。?
3) 沖擊清理：?利用氣囊環，?激光清洗機使用高壓氣體噴嘴來打破氣囊區域，?將雜質從表面沖走。?這種方法使用高能激光深入雜質表面，?同時對工件表面造成的破壞非常小。?
2. 工作流程
生產主線為：上料臺、超聲循環溢流槽1、循環溢流槽2、循環溢流槽3、QDR槽4、QDR槽5、下料臺，共5個制程工位。本設備電器控制部分關鍵件均采用進口優質件，性能可靠，使用壽命長；及背部設有吸風口，為防止污染空氣，用戶需外接風管抽風。本機臺是一個人機界面（觸摸屏）加PLC控制的自動控制系統，操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上，再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位，按照事先輸入的程序對晶片進行各個工位進行相應的處理。
3. 清潔能力
4 inch 2 cassette / Batch 25 Pcs/cassette；6 inch 1 cassette / Batch 25 Pcs/cassette；
4. 產品優勢
1) 高效性：?全自動GaN去光阻清洗機采用多槽體、?多工序設計，?能夠一次性完成多個清洗步驟，?大大提高了清洗效率。?
2) 環保性：?采用非接觸式清洗方式，?減少了對GaN晶片的磨損和損傷，?同時減少了水資源的浪費和污水排放。?設備還設有循環過濾和回收系統，?保證了清洗溶液的清潔度，?降低了生產成本。?
3) 穩定性：?設備采用PLC工控機程序控制，?全自動輸送方式，?運行平穩快捷。?同時，?設備具有自我診斷功能，?能夠在出現故障時自動停機并報警，?確保了生產安全。?
4) 靈活性：?各槽清洗時間可以根據需要進行設定和調整，?以適應不同的清洗需求。?
5) 高精度：?對于GaN晶片的清洗，?全自動GaN去光阻清洗機能夠實現高精度的清洗效果，?確保晶片表面的光阻層被徹底去除。?
5. 產品特點
1) 工藝說明: 自動傳動，自動方式實現槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業，生產部人員選取菜單進行作業，這個過程全自動進行；
2) 全程自動化控制，工藝 過程中沒有人工干預，保證產品性能的一致性；
3) 搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達，閉環控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導軌結構及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩；
4) 搬運機械手臂單獨急停、暫停開關、系統急停開關和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；
5) 搬運機械手運行平穩，帶有過載和過流保護，工藝槽發生異常報警需將工藝槽產品放置到溢流槽保護并立即啟動報警（手臂故障需要立即發出報警并不可消除）；當工裝出現意外情況時程序自動將藥液排空注入DIW稀釋救貨；
6) 工藝槽設有花籃物理檢測裝置，防止壓籃；
7) 溢流工藝的應用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
8) 優化配管設置，節約DIW消耗量；
9) 工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速；多工藝數據庫，可供用戶使用和存儲；
10) 整機在使用、運行過程中平穩、可靠、不產塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；
11) 整機采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護及超(兆)聲低液位保護；
12) 整機采用全封閉設計。設備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便；
13) 整機耐酸堿溶液及揮發氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
14) 機臺設有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設備兩端各一個），并按照標準設置接地保護斷路器；
15) 整機前后區隔離，底板傾斜設計，便于排液，處設有漏液報警，前后區域均設水槍，確保漏液及時沖洗；
16) 清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設計，防止溶劑混用；
17) 設計合理化的排風管路，使酸堿液揮發氣體的污染最小化；
18) 設備內部輸水、輸氣管道管線布置于主體設備內部；
19) 廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放；
20) 設備內廢氣總管路可用維護區水槍清洗，清洗廢液流入酸堿廢液總管；
21) 工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現，至少需要三面溢流；
22) 搬運機械手抓驅動部分為電機馬達驅動完成動作并配有傳感器實時監測,抓取部位設有防壓框傳感器,檢測抓取成功與否；
23) 搬運機械手臂設有防夾防撞預警裝置（光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等），以保護操作人員安全；
24) 工藝槽工作區域與機臺控制外配有安全監測裝置，防止搬運機械手對操作人員的意外損傷；
25) 設備后方、左右兩側需留有方便維護、維修的窗口；
26) 機臺上料下料區各配水***2把；
27) 機臺排風口處安裝排風壓力監測裝置（帶信號報警裝置）；
28) 機臺總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監測裝置（帶信號報警裝置）；
29) 工藝槽槽底傾斜式，便于排空；
30) 根據工藝要求選擇配套UPS電源（15-20min）；
31) 排風調節板根據風壓可自動調節；
6. 安裝及售后
1) 委派具有豐富的調試經驗、業務精湛的技術人員在用戶工廠現場安裝、調試設備。
2) 為用戶工廠操作工提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養、操作問題的分析和緊急處理程序。
3) 無償提供為期一年的技術支持與服務，一年后繼續提供終身技術服務。在質保期內，提供7*24小時內電話支持服務，24小時到現場反應時間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務后24小時內到達現場。
4) 可提供隨機備件、易損品及隨機工具。
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