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1. 工作原理

全自動碳化硅外延最終清洗機是一種高效設備，?用于清潔碳化硅材料，?其工作原理包括物理清洗和化學清洗。?物理清洗主要通過拋光頭的高頻振動和流體動力學的沖擊作用，?去除碳化硅表面的雜質。?化學清洗則是利用特定的清洗劑與碳化硅表面雜質發生化學反應，?將其溶解于清洗液中。?這種清洗方式不僅提高了碳化硅的清潔度，?還改善了后續工序的生產環境，?同時增強了碳化硅與結合劑的結合強度，?從而提高了產品的各項性能指標。

2. 工作流程

生產主線為： Load，藥液A槽1、QDR槽2……干燥槽N、Unload，共X個制程工位, 設置為6” *1 cassette晶舟上貨，將晶舟置于Robot上貨區位置，按下『啟動鍵』，Robot將自動以夾持方式移至制程槽進行預設之制程，完成設備本身設定之流程，達成一貫性自動控制的功能。本設備電氣控制部分關鍵件均采用進口優質件，性能可靠，使用壽命長；及背部設有吸風口，為防止污染空氣，用戶需外接風管抽風。本機臺是一個人機界面（觸摸屏）加PLC控制的自動控制系統，操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上，再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位， ?按照事先輸入的程序對晶片進行各工藝處理。

3. 清洗能力

6inch     1cassette   / Batch    25 Pcs/cassette；

4. 產品優勢

1) 高效清洗：?通過高穩定氣體流場和壓力場控制，?實現了對碳化硅晶片的快速且高效的清洗。?

2) 高質量生長：?結合感應加熱和反應腔整機系統設計，?以及自主開發的原位監控技術和在線清洗技術，?保證了外延生長的高質量。?

3) 可靠性與穩定性：?通過優化涂層材料和工藝，?提高了設備的運行可靠性和穩定性。?

4) 適用范圍廣：?能夠處理2-8英寸的碳化硅晶片，?滿足不同尺寸的需求。?

5) 安全與操作簡便：?設備結構緊湊且安全，?采用工控機控制，自動化程度高，?操作簡便，?同時可以根據用戶需求提供個性化解決方案。

5. 產品特點

01）溢流工藝的應用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
02）優化配管設置，節約DIW消耗量；
03）工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速；多工藝數據庫，可供用戶使用和存儲；
04）整機在使用、運行過程中平穩、可靠、不產塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；
05）整機采用PLC控制，IPC顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護及超(兆)聲低液位保護；
06）整機采用全封閉設計。設備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便；
07）整機耐酸堿溶液及揮發氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
08）機臺設有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設備兩端各一個），并按照標準設置接地保護斷路器；
09）整機前后區隔離，底板傾斜設計，便于排液，處設有漏液報警，前后區域均設水槍，確保漏液及時沖洗；
10）清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設計，防止溶劑混用；
11）設計合理化的排風管路，使有機液揮發氣體的污染最小化；
12）設備內部輸水、輸氣管道管線布置于主體設備內部；
13）廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放；
14）設備內廢氣總管路可用維護區水槍清洗，清洗廢液流入有機、酸堿廢液總管；
15）工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現，至少需要三面溢流；
16)  設備后方、左右兩側需留有方便維護、維修的窗口；
17）機臺排風口處安裝排風壓力監測裝置（帶信號報警裝置）；
18）機臺總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監測裝置（帶信號報警裝置）；
19）工藝槽槽體傾斜式，便于排空；
20）機臺電器部分具備正壓N2保護，防止腐蝕；
21）溢流：IDLE TIME＞SET TIME，溢流停止，達到節能目的；
22）廢液排放，每個工藝槽采用獨立排放管道，對應QDR也采用獨立排放口；
23）排風，工藝腔內每個工藝槽對應位置都有可調節的柵格排風結構；
24）換液提醒功能，所有制程能根據配液時間或運行批次數量通知換酸；
25）工藝結束可以設置預先報警功能，預報警聲音和實際報警聲音要有所區分；
26）工藝說明: 自動傳動，自動方式實現槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業，生產部人員選取菜單進行作業，這個過程全自動進行；
27）全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預，保證產品性能的一致性；
28）搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達，閉環控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導軌結構及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩；
29）搬運機械手臂單獨急停、暫停開關、系統急停開關和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；
30）搬運機械手臂設有防夾防撞預警裝置（光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等），以保護操作人員安全；
31）上下料方向：左進右出，花籃水平放置；
32）顆粒指標，尺寸大于XX μm的顆粒，密度不超過XX個/cm2；
33）目前金屬離子殘留測試，包括XX種元素：------,每一種金屬元素殘留指標均要求

6. 安裝及售后

1) 委派具有豐富的調試經驗、業務精湛的技術人員在用戶工廠現場安裝、調試設備。

2) 為用戶工廠操作工提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養、操作問題的分析和緊急處理程序。

3) 無償提供為期一年的技術支持與服務，一年后繼續提供終身技術服務。在質保期內，提供7*24小時內電話支持服務，24小時到現場反應時間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務后24小時內到達現場。

4) 可提供隨機備件、易損品及隨機工具。